3次元测量仪的优点是可以相对任意基准进行精度测量，以及能够直接测量平行度、同轴度等几何偏差等。不过，与以往的测量方法相比，其基准面（基准线）的定义不同，所以需要充分注意这一点。在此，对使用千分表的以往测量结果，和使用3次元测量仪的测量结果之间的差异进行说明。
（1）千分表等以往测量方法和3次元测量仪的测量结果的差异
（1）使用以往的测量方法时
a）将被测物和测量器材用固定用具安装设置到平台等精度良好的基准平面上，并将平台面作为基准面，进行尺寸测量。（参考【照片1】：高度规事例）
b）测量数据原样使用测量点的数据。
（2）使用3次元测量仪时
a）未必一定将安装设置被测物的平台面作为基准面进行测量。因此，有时可以使用与上述（1）中的测量基准面不同的基准面。
b）测定面采用的是对其面上多点的测量数据进行计算处理（最小二乘法等）后获得的测定面，所以，使用与以往测量方法不同的面进行测量，并根据该测量数据进行计算。（参考【图1】）
因为上述理由，使用3次元测量仪时的测量结果，有可能与以往方法的测量结果产生差异。另外，因为3次元测量仪拥有能够自动测量3次元空间的复杂结构，所以作为综合精度将伴随有10μm左右的误差。
下回将介绍硬度。
